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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜西安微电子技术研究所申请的专利一种TSV背面露孔结构及制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2022-01-28发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2021112671100，技术领域属于H01L23/48(20060101)；该专利一种TSV背面露孔结构及制备方法是由西安微电子技术研究所设计研发完成，并于2021-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种TSV背面露孔结构及制备方法，属于微电子技术领域。基片的上表面开设有TSV盲孔，基片的下表面开设有第二通孔，第二通孔位于TSV盲孔的正下方，且与TSV盲孔共轴线，TSV盲孔的底部与第二通孔顶部连通。该结构通过正背面TSV孔的互连实现TSV的正背面导通，使基片具有正背面电互连的通道，满足2.5D或3D集成的技术需求。同时提高了TSV在基片内部的长度，可保留更多的基片衬底，使基片具备更高的机械强度。通过本发明的TSV背面露孔制备方法，将省去行业内常用的CMP工艺，显著降低工艺成本，并降低技术门槛，该方法解决了TSV背面露孔成本高、工艺复杂、晶圆内均匀性差等问题。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网（www.lotut.com） 是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等， 通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应，实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |
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