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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种利用相位衍射元件实现干法全息光刻方法及系统成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-05-02发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2023100401398，技术领域属于G03F7/20；该专利一种利用相位衍射元件实现干法全息光刻方法及系统是由中国科学技术大学设计研发完成，并于2023-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明涉及一种利用相位衍射元件实现干法全息光刻的方法及系统，基于输出面全息图像的成本函数优化相位衍射元件的相位掩膜，可用于相位衍射元件加工；搭建光刻实验光路系统，实现全息光刻。本发明无需成像透镜,仅通过优化衍射元件的相位，利用其衍射光场在特定距离处的光场分布，即可生成小尺寸的全息图像，并将其用于干法全息光刻，降低光刻工艺的成本，开辟一条全新的光刻系统。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网（www.lotut.com） 是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等， 通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应，实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |
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