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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜西安微电子技术研究所申请的专利一种监控高温炉管内掺杂浓度的方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2019-03-15发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2018112713084，技术领域属于H01L21/66(2006.01)I；该专利一种监控高温炉管内掺杂浓度的方法是由西安微电子技术研究所设计研发完成，并于2018-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明一种监控高温炉管内掺杂浓度的方法，通过将易于实现的扩散操作融入含有待监控衬底片的MOS结构之中，使测试区域O1和区域O2带有不同的掺杂分布，进一步测试MOS结构区域O2的准静态C‑V特性和高频C‑V特性，区域O1的准静态C‑V特性和高频C‑V特性并对所测数据进行数据分析计算出MOS结构区域O1和区域O2的平带电压值，得到该衬底片区域O2和区域O1的平带电压差值ΔVoFB，将ΔVoFB代入平带电压差值和离子注入剂量的函数关系便可快速计算出对应的等效离子注入剂量，该等效离子注入剂量即为本次扩散待监控衬底片实际引入的硼离子或磷离子的掺杂浓度。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网（www.lotut.com） 是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等， 通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应，实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |
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