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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜西安电子科技大学申请的专利一种沟槽栅双层超结VDMOSFET半导体器件及其制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-10-08发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2021106339527，技术领域属于H01L21/336(20060101)；该专利一种沟槽栅双层超结VDMOSFET半导体器件及其制备方法是由西安电子科技大学设计研发完成，并于2021-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种沟槽栅双层超结VDMOSFET半导体器件及其制备方法，方法包括：依次生长n+型衬底、第一n‑外延层、第一pn超结漂移区、第二n‑外延层；在第二n‑外延层内形成p型基区；刻蚀形成第一沟槽；在第一沟槽的表面生长栅极氧化膜；在第一沟槽开口处的p型基区表面形成n+源区；刻蚀形成第二沟槽；利用第二沟槽形成第二pn超结漂移区；对第二pn超结漂移区进行离子注入形成p+注入区；在第一沟槽形成栅极；在n+源区和p+注入区表面形成源极，在n+型衬底下表面形成漏极。本发明有效缓解了击穿电压、导通电阻和损耗之间的矛盾，获得高击穿电压，并降低导通电阻，从而提升了器件性能，且可以缩小器件尺寸，便于大批量生产。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网（www.lotut.com） 是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等， 通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应，实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |
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