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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜杭州电子科技大学申请的专利一种防御声学攻击的MEMS惯性传感器及其制作方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2018-08-17发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2018104945215，技术领域属于H04R19/00(2006.01)I；该专利一种防御声学攻击的MEMS惯性传感器及其制作方法是由杭州电子科技大学设计研发完成，并于2018-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明涉及一种防御声学攻击的MEMS惯性传感器及其制作方法。现有薄膜型声学超材料结构尺寸过大。本发明包括MEMS惯性传感器模块和防御声学攻击模块。MEMS惯性传感器模块由下向上依次包括第一硅衬底、第一SiO2刻蚀停止层、下多晶硅圆环电极、SiO2支撑层、上多晶硅振膜层、SiNx质量块，上多晶硅振膜层架设在第一背腔上。防御声学攻击模块由下向上依次包括第二硅衬底、第二SiO2刻蚀停止层和多晶硅振膜层，多晶硅振膜层架设在阻尼腔上。上多晶硅振膜层和多晶硅振膜层设置有环形弹性结构。制作中，两个模块分别独立制作，然后再合成整体。本发明可以有效减弱入射攻击声波的能量，能够预防大范围声波频率的攻击。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网（www.lotut.com） 是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等， 通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应，实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |
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