买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网获悉杭州电子科技大学申请的专利具有频率选择功能的电容式MEMS麦克风及其制作方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2018-08-17发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2018104942683,技术领域属于H04R19/04(2006.01)I;该专利具有频率选择功能的电容式MEMS麦克风及其制作方法是由杭州电子科技大学设计研发完成,并于2018-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明涉及具有频率选择功能的电容式MEMS麦克风及其制作方法。现有电容式MEMS麦克风不具备选用或调节麦克风的拾音频率范围功能。本发明由下向上依次包括硅衬底、SiO2刻蚀停止层、下多晶硅圆环电极、SiO2支撑层、上多晶硅振膜层。贯穿硅衬底、SiO2刻蚀停止层和下多晶硅圆环电极开设有背腔,贯穿SiO2支撑层开设有阻尼腔,连通的背腔和阻尼腔为阶梯状圆筒形。上多晶硅振膜层架设在阻尼腔上;上多晶硅振膜层靠近边沿位置设置有圆环形的弹性结构。本发明在上多晶硅振膜层与硅衬底之间设置阻尼腔,在振膜振动时,空腔会对振膜产生阻尼作用,根据对不同声音频率所产生的不同阻尼作用,实现麦克风的频率选择功能。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网(www.lotut.com) 是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等, 通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应,实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |