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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网获悉西安电子科技大学申请的专利一种新型高可靠性GaN HEMT器件及其制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2022-11-01发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2022107269244，技术领域属于H01L21/335；该专利一种新型高可靠性GaN HEMT器件及其制备方法是由西安电子科技大学设计研发完成，并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种新型高可靠性GaN HEMT器件及其制备方法，包括：提供衬底；在衬底的一侧表面形成成核层、过渡层和势垒层，并在势垒层远离衬底的一侧制备源极和漏极；刻蚀势垒层和过渡层的两端形成台面，并在源极、漏极和势垒层远离衬底的一侧淀积HfO2薄膜，形成绝缘介质层；在绝缘介质层远离衬底的一侧制备栅极；在绝缘介质层和栅极远离衬底的一侧淀积形成钝化层；刻蚀钝化层远离衬底的一侧表面后，淀积掺氧的半绝缘多晶硅，形成栅场板；沿垂直于衬底所在平面的方向，栅场板的正投影为近似S型；在栅场板和钝化层远离衬底的一侧形成保护层，得到制备完成的GaN HEMT器件。本发明可使栅漏间的电场分布更加均匀，从而极大地提高器件的长期可靠性以及击穿效率。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网（www.lotut.com） 是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等， 通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应，实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |
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