买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网恭喜中国科学院半导体研究所申请的专利盖板结构及其制作方法、电容式传感器成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2019-04-16发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2018115794632,技术领域属于B81B7/00(2006.01)I;该专利盖板结构及其制作方法、电容式传感器是由中国科学院半导体研究所设计研发完成,并于2018-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种盖板结构及其制作方法、电容式传感器,该盖板结构,用于微机电器件晶圆级封装,包括:密封盖板,其上设有一凹槽,该凹槽形成一容置空间;电极板,位于凹槽形成的容置空间之内,与凹槽左右两侧的密封盖板之间存在间隙;第一垂直通孔,设置于电极板之下,贯穿凹槽下方的密封盖板;第二垂直通孔,设置于密封盖板的非凹槽位置并贯穿密封盖板中的绝缘部分;以及第一电极引线和第二电极引线,分别沿着第一垂直通孔和第二垂直通孔引出至密封盖板的下表面。本发明的盖板结构及其制作方法、电容式传感器,具有与微机电器件制备工艺兼容、工艺简单、气密性好、具备垂直引线、不需要高温、降低寄生电容、以及广泛适用的综合性能。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网(www.lotut.com) 是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等, 通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应,实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |