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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜中国科学院半导体研究所申请的专利有源反馈分布式反馈激光器及其制作方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2022-04-05发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：202111595855X，技术领域属于H01S5/125(20060101)；该专利有源反馈分布式反馈激光器及其制作方法是由中国科学院半导体研究所设计研发完成，并于2021-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种有源反馈DFB的制作方法，包括：在衬底上形成两个掩膜条、位于两个掩膜条中间的生长窗口，每个掩膜条包括有源区掩膜和反馈区掩膜，有源区掩膜的宽度大于反馈区掩膜的宽度；在生长窗口上依次形成缓冲层、有源层、光栅层、光栅覆盖层；由光栅层形成横向延伸的均匀光栅；在光栅覆盖层上依次形成包层、电接触层；由包层形成纵向延伸的倒台型脊波导、以及位于倒台型脊波导两侧的沟槽；在倒台型脊波导上形成电隔离区；在电接触层上形成电隔离层，在电隔离层、倒台型脊波导和沟槽上形成BCB覆层；刻蚀BCB覆层，使BCB覆层仅存在于方形掩膜，和倒台型脊波导两侧的沟槽内；在方形掩膜上制备Pad电极。本发明还提供一种利用上述方法制作的DFB激光器。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网（www.lotut.com） 是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等， 通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应，实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |
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