买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网获悉广东省大湾区集成电路与系统应用研究院申请的专利一种半导体器件制造方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-07-06发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2021103068148,技术领域属于G03F7/20(20060101);该专利一种半导体器件制造方法是由广东省大湾区集成电路与系统应用研究院设计研发完成,并于2021-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明涉及半导体技术领域,公开了一种半导体器件制造方法,通过在将电路曝光到光罩的过程中,利用EDA工具来识别待曝光电路在刻蚀时容易产生断线的部分,并在待曝光电路中容易产生断线的部分所在的区域添加辅助图形后,再将第一次待曝光电路以及在第一次待曝光电路容易产生断线的部分所在的区域中添加的辅助图形同时曝光到光罩上,可以提升电路图像在光刻时的分辨率,进而确保待曝光电路可以完整的曝光到光罩上。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网(www.lotut.com) 是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等, 通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应,实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |