一种高效OLED蒸镀设备
专利号：2018112045143专利权维持
申请日：
2017-12-08
发布日期：2020-05-08
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专利摘要
本发明涉及一种高效OLED蒸镀设备，包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置和OLED基板送入装置。本发明利用了离心的原理和空心轴电机结构的优点，改变原有的对基本平铺式排布的设计，变为环形筒状的排布，使得单个真空腔室内可以容纳更多的OLED基板，同时通过OLED基板的旋转产生类似于离心的作用，使得真空腔室内的蒸镀材料分子撞击基板的力度显著提升，在生产效率增加的同时还能够提升镀膜的均匀程度，整体结构密闭性好，降低污染的泄露。
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企业营业执照 专利证书原件 |
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皖公网安备 34010402703815号
