申请/专利权人：广东先导先进材料股份有限公司

申请日：2019-09-25

公开（公告）日：2019-11-19

公开（公告）号：CN110473818A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2019.12.13#实质审查的生效;2019.11.19#公开

摘要：本发明涉及晶片生产技术领域，尤其涉及一种晶片自动腐蚀喷淋设备，包括控制器、工作箱、晶片固定架以及与控制器电连接的药液泵组、冲刷装置和冲洗装置，晶片固定架设置于工作箱内用于固定放入工作箱中的晶片，药液泵组与工作箱连接用于向工作箱内泵送药液，工作箱开设有排液口用于排出药液，冲刷装置安装于工作箱用于使工作箱的药液流动形成药液流冲刷晶片，冲洗装置安装于工作箱用于向晶片喷淋冲洗液清洗晶片。一方面，避免药液对工人身体造成伤害，同时降低人工投入，另一方面，避免人工操作造成的质量稳定性较差的问题，提高产品的一致性，同时提高晶片生产的自动化程度，提高生产效率。

主权项：1.一种晶片自动腐蚀喷淋设备，其特征在于，包括控制器、工作箱、晶片固定架以及与控制器电连接的药液泵组、冲刷装置和冲洗装置，所述晶片固定架设置于工作箱内用于固定放入工作箱中的晶片，所述药液泵组与工作箱连接用于向工作箱内泵送药液，所述工作箱开设有排液口用于排出药液，所述冲刷装置安装于工作箱用于使工作箱的药液流动形成药液流冲刷晶片，所述冲洗装置安装于工作箱用于向晶片喷淋冲洗液清洗晶片。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东先导先进材料股份有限公司 一种晶片自动腐蚀喷淋设备

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