申请/专利权人：四川拜安科技有限公司

申请日：2019-09-04

公开（公告）日：2019-11-29

公开（公告）号：CN110514350A

主分类号：G01L11/02(20060101)

分类号：G01L11/02(20060101);G01L1/02(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2022.04.15#发明专利申请公布后的驳回;2019.12.24#实质审查的生效;2019.11.29#公开

摘要：本发明属于传感器技术领域，尤其为一种MEMS压力传感器装于环形波纹管的接触力传感器，包括上法兰、下法兰和光电解调仪，所述上法兰和下法兰相互靠近的一侧固定安装有同一个大波纹管，大波纹管内设有小波纹管，上法兰和下法兰相互靠近的一侧均与小波纹管固定连接，大波纹管、小波纹管、上法兰和下法兰组成环形腔室，下法兰的底部固定安装有引压管，引压管与环形腔室连通，环形腔室和引压管内设有填充液，引压管上设有密封塞，引压管的底端螺纹安装有传感器封装结构件，传感器封装结构件的顶端固定安装有MEMS光纤F‑P压力传感器。本发明实用性高，具有结构尺寸小，抗干扰能力强，测量精确度高，便于远距离实时检测压力。

主权项：1.一种MEMS压力传感器装于环形波纹管的接触力传感器，包括上法兰1、下法兰4和光电解调仪，其特征在于，所述上法兰1和下法兰4相互靠近的一侧固定安装有同一个大波纹管2，大波纹管2内设有小波纹管3，上法兰1和下法兰4相互靠近的一侧均与小波纹管3固定连接，大波纹管2、小波纹管3、上法兰1和下法兰4组成环形腔室，下法兰4的底部固定安装有引压管6，引压管6与环形腔室连通，环形腔室和引压管6内设有填充液5，引压管6上设有密封塞7，引压管6的底端螺纹安装有传感器封装结构件9，传感器封装结构件9的顶端固定安装有MEMS光纤F-P压力传感器8，传感器封装结构件9的底端固定安装有传输光缆10，传输光缆10的光纤与MEMS光纤F-P压力传感器8熔接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 四川拜安科技有限公司 一种MEMS压力传感器装于环形波纹管的接触力传感器

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