申请/专利权人：MKS仪器有限公司

申请日：2018-04-20

公开（公告）日：2020-01-07

公开（公告）号：CN110663095A

主分类号：H01J37/32(20060101)

分类号：H01J37/32(20060101)

优先权：["20170525 US 15/605,055"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.07.08#授权;2020.02.04#实质审查的生效;2020.01.07#公开

摘要：提供了一种射频功率系统，其包括偏置模块、开关、匹配网络、以及控制模块。偏置模块被配置为分别生成直流DC偏置电压。开关被配置为i从偏置模块接收电流，以及ii控制来自偏置模块的电流的流动以生成射频偏置电压信号。匹配网络被配置为i接收射频偏置电压信号，以及ii基于射频偏置电压信号，将射频输出电压信号的至少一部分提供给处理腔室中的基板支撑件的电极。控制模块被连接到开关，并被配置为基于射频输出电压信号控制开关的状态，以成形射频偏置电压信号的波形。

主权项：1.一种射频功率系统，包括：多个偏置模块，被配置为分别生成多个直流DC偏置电压；开关，被配置为i从所述多个偏置模块接收电流，以及ii控制来自所述多个偏置模块的所述电流的流动以生成射频偏置电压信号；第一匹配网络，被配置为i接收所述射频偏置电压信号，以及ii基于所述射频偏置电压信号，将射频输出电压信号的至少一部分提供给处理腔室中的基板支撑件的电极；以及控制模块，被连接到所述开关，并被配置为基于所述射频输出电压信号控制所述开关的状态，以成形所述射频偏置电压信号的波形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： MKS仪器有限公司 用于向处理腔室中的电极提供预失真的RF偏置电压信号的分段式RF功率系统和方法

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