申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2019-07-03

公开（公告）日：2020-01-10

公开（公告）号：CN110676192A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/677(20060101);H01L21/66(20060101)

优先权：["20180703 JP 2018-126654"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.04.16#实质审查的生效;2020.01.10#公开

摘要：本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法，向被施加浮起力并搬运的基板良好地涂敷处理液。涂敷装置1具有：搬运机构5，使由浮起工作台部3被施加浮起力的浮起基板W沿着X方向移动；测量器72，测量浮起基板W的铅垂位置；以及测量器移动部76，使测量器72沿着Y方向移动。测量器72通过沿着Y方向移动，测量Y方向的不同的多个地点上的浮起基板W的铅垂位置。

主权项：1.一种基板处理装置，处理具有第一主面及第二主面的基板，其中，所述基板处理装置具有：浮起机构，对所述第一主面在铅垂方向上向上的所述基板施加浮起力；搬运机构，使被施加所述浮起力的所述基板即浮起基板沿着第一方向移动，所述第一方向为水平方向；喷嘴，具有沿着与所述第一方向正交的第二方向延伸的喷出口，能够从所述喷出口朝向所述浮起基板的所述第一主面喷出处理液，所述第二方向为水平方向；测量器，测量所述浮起基板的铅垂位置；以及测量器移动机构，使所述测量器沿着所述第二方向移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置和基板处理方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD