申请/专利权人：金堆城钼业股份有限公司

申请日：2019-10-29

公开（公告）日：2020-01-10

公开（公告）号：CN110670032A

主分类号：C23C14/34(20060101)

分类号：C23C14/34(20060101);B22F1/00(20060101);B22F3/04(20060101);B22F3/15(20060101);B22F3/18(20060101);B22F3/24(20060101);C22C27/04(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.10.01#授权;2020.02.11#实质审查的生效;2020.01.10#公开

摘要：本发明公开了钼镍铜多元合金溅射靶材及其制备方法，由以下质量组分组成：Ni5％‑45％，Cu1％‑10％，余量为Mo，以上组分的质量分数百分比之和为100％；通过混料‑冷等静压‑热等静压‑去除包套‑一火多道次热轧‑退火‑机加工等，得到钼镍铜多元合金靶材。本发明制备方法通过混匀钼镍铜粉体，避免单纯钼合金熔点较高而无法采用常规雾化法的局面；通过设置烧结工艺参数，解决了多元合金中三种金属粉末熔点相差较大不易烧结的问题；通过溅射靶材金属化，解决了电沉积法进行陶瓷金属化所产生的精密性及安全性差的问题；制备的钼镍铜多元合金溅射靶材，气密性好、耐湿耐潮、高密度、高纯度，提高陶瓷‑金属封接材料的使用寿命。

主权项：1.一种钼镍铜多元合金溅射靶材，其特征在于，由以下质量组分组成：Ni元素5％-45％，Cu元素1％-10％，余量为Mo元素，以上组分的质量分数百分比为100％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 金堆城钼业股份有限公司 一种钼镍铜多元合金溅射靶材及其制备方法

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