申请/专利权人：吉姆西半导体科技(无锡)有限公司

申请日：2019-11-01

公开（公告）日：2020-01-10

公开（公告）号：CN110676200A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.02.11#实质审查的生效;2020.01.10#公开

摘要：本发明是湿法清洗设备烘干机构，其结构是槽体主体后侧面下部设气缸固定座、上部设模组固定板，气缸固定座上固定有气缸，气缸上固定有热风升降装置，热风升降装置上固定有热风管，热风管内设感温机构，气缸、热风升降装置和热风管组成上下升降热风烘干机构；模组固定板上固定有吹干模组和感应器，吹干模组上固定有冷风管，模组、感应器和冷风管组成左右摆动吹干机构。本发明的优点：烘干机构采用升降带动热风管，有效的覆盖了整个Cassette及其内部的产品，能充分的烘干；吹干模组带动冷风管左右移动，也充分覆盖，从而达到吹干水分；标准件保证了机构整体稳定性，达到设备产品干进干出的目的，提高了质量，且提高了效率。

主权项：1.湿法清洗设备烘干机构，其特征是槽体主体1后侧面下部设气缸固定座2、上部设模组固定板7，气缸固定座2上固定有气缸3，气缸3上固定有热风升降装置4，热风升降装置4上固定有热风管5，热风管5内设感温机构6，气缸3、热风升降装置4和热风管5组成上下升降热风烘干机构；模组固定板7上固定有吹干模组8和感应器9，吹干模组8上固定有冷风管10，模组8、感应器9和冷风管10组成左右摆动吹干机构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司 湿法清洗设备烘干机构

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