申请/专利权人：谢曲坚

申请日：2019-11-12

公开（公告）日：2020-01-10

公开（公告）号：CN110670028A

主分类号：C23C14/30(20060101)

分类号：C23C14/30(20060101);C23C14/50(20060101);C23C14/14(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态：2021.08.06#发明专利申请公布后的撤回;2020.02.11#实质审查的生效;2020.01.10#公开

摘要：本发明公开了磁性材料表面蒸发镝的设备，其结构包括机架、蒸发镀膜设备、门盖、电控器，蒸发镀膜设备由机体、真空系统、S极电磁铁、防溅射装置、电子束蒸发源、工件固定架、N极电磁铁组成，蒸发镀膜设备通过S极电磁铁与N极电磁铁让磁性工件可以漂浮在空中并且旋转工作，提高了蒸发镀膜效率，使得磁性工件是因为在旋转工作下镀膜均匀，通过刮除机构可以将镝金属蒸发形成镝液体推入到罩体底端，进行二次利用，节约成本，第一磁铁环通过回卷机构可以将其送回原位置，利用工件固定架可以让磁性工件在放置位置上不会影响电子束蒸发源工作。

主权项：1.磁性材料表面蒸发镝的设备，其结构包括机架1、蒸发镀膜设备2、门盖3、电控器4，所述的机架1顶端上设有蒸发镀膜设备2，所述的机架1和蒸发镀膜设备2机械连接，所述的蒸发镀膜设备2右侧上设有电控器4，所述的电控器4与机架1为一体化结构，所述的蒸发镀膜设备2前端上设有门盖3，所述的蒸发镀膜设备2和门盖3采用铰链连接，其特征在于：所述的蒸发镀膜设备2由机体2a、真空系统2b、S极电磁铁2c、防溅射装置2d、电子束蒸发源2e、工件固定架2f、N极电磁铁2g组成，所述的机体2a内部左壁上设有S极电磁铁2c，所述的机体2a和S极电磁铁2c胶连接，所述的机体2a内部右壁上安装有N极电磁铁2g，所述的机体2a内部底端上设有防溅射装置2d，所述的机体2a和防溅射装置2d活动连接，所述的防溅射装置2d内侧底端上安装有电子束蒸发源2e，所述的电子束蒸发源2e上方设有工件固定架2f，所述的工件固定架2f与防溅射装置2d相连接，所述的机体2a顶端上安装有真空系统2b。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 谢曲坚 磁性材料表面蒸发镝的设备

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