申请/专利权人：中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所;江苏鸿源动力科技有限公司

申请日：2019-11-28

公开（公告）日：2020-01-10

公开（公告）号：CN110672662A

主分类号：G01N25/68(20060101)

分类号：G01N25/68(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.02.11#实质审查的生效;2020.01.10#公开

摘要：本发明公开了一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统，该方案包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口；镜面设置在测量腔内；镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接；不锈钢进气管道一端与进气口连接，另一端与测量腔连通；不锈钢出气管道一端与出气口连接，另一端与测量腔连通；质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。该方案可以避免由于MFC内部容易存水导致内表面材料缓慢释放水分，影响测量速度和精度。同时通过电伴热升温，减少气路管道内壁材料吸附水份的含量，提高露点测量速度。

主权项：1.一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统，其特征是：包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口；所述镜面设置在测量腔内；所述镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接；所述不锈钢进气管道一端与进气口连接，另一端与测量腔连通；所述不锈钢出气管道一端与出气口连接，另一端与测量腔连通；所述质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所;江苏鸿源动力科技有限公司 一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统

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