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【发明授权】气体传感器_英飞凌科技股份有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会_201610174975.5 

申请/专利权人:英飞凌科技股份有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会

申请日:2016-03-25

公开(公告)日:2020-01-10

公开(公告)号:CN106153548B

主分类号:G01N21/17(20060101)

分类号:G01N21/17(20060101)

优先权:["20150327 DE 202015002315.0"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.01.10#授权;2016.12.21#实质审查的生效;2016.11.23#公开

摘要:本发明示出了一种气体传感器5,其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25,所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

主权项:1.一种气体传感器(5),包括:传感器元件(10),所述传感器元件(10)包括第一衬底和第二衬底,所述第一衬底包括与所述传感器元件(10)相关联的MEMS隔膜(25),所述第二衬底布置在所述第一衬底之上,其中所述第一衬底和所述第二衬底限定参考室(30)的至少部分;发射体元件(20),所述发射体元件(20)包括发射体单元(100)和发射体腔体(105),所述发射体单元(100)布置在所述第一衬底上的所述MEMS隔膜(25)旁边并且被构造为发射电磁辐射(55),所述发射体腔体(105)布置在所述发射体单元(100)上;在所述第二衬底上的测量室(15),所述测量室(15)被构造用于容纳测量气体(50),其中所述测量室(15)包括至少一个表面区域,所述至少一个表面区域构造为将所述电磁辐射(55)从所述发射体单元(100)反射到所述传感器元件(10)上;以及其中所述发射体元件(20)和所述传感器元件(10)彼此固定地布置。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 英飞凌科技股份有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会 气体传感器

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