申请/专利权人：FEI 公司

申请日：2016-05-03

公开（公告）日：2020-01-10

公开（公告）号：CN106098518B

主分类号：H01J37/147(20060101)

分类号：H01J37/147(20060101);H01J37/29(20060101)

优先权：["20150503 US 14/702753"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.01.10#授权;2018.06.01#实质审查的生效;2016.11.09#公开

摘要：本发明涉及使用定向波束信号分析的粒子大小的自适应扫描。提供了用于扫描显微镜的系统和方法以快速形成区域的部分图像。该方法包括执行区域的初始扫描以及使用初始扫描来识别表示在区域中的感兴趣的特征的区。然后，该方法执行表示感兴趣的结构的区的附加自适应扫描。这样的扫描通过执行与特征边缘交叉的局部扫描图案并指引局部扫描图案跟随特征边缘来使扫描波束的路径适合于跟随感兴趣的特征的边缘。

主权项：1.一种使用带电粒子束进行扫描的方法，包括：（a）在视场内按初始扫描图案朝着工件指引带电粒子束，同时检测响应于所述带电粒子束的撞击而从所述工件表面发出的二次粒子，所述二次粒子对应于所述工件的性质；（b）确定沿着所述初始扫描图案的在其处所述工件的性质改变的点，以识别在所述工件中的特征的边缘上的点；（c）按局部扫描图案指引所述带电粒子束，随后的局部扫描图案的开始点由在所述特征的所述边缘上识别的点确定，所述随后的局部扫描图案在如由所述边缘处的所述工件的性质中的变化确定的一个或多个交叉点处与所述特征的所述边缘交叉；以及（d）按多个随后的局部扫描图案指引所述带电粒子束，其中所述随后的局部扫描图案的开始点基于一个或多个前面的局部扫描图案与所述特征的所述边缘的交叉点来确定，以便确定所述特征的所述边缘的多个点以跟踪所述特征的轮廓线。

全文数据：

权利要求：

百度查询： FEI 公司 带电粒子束显微镜和使用带电粒子束进行扫描的方法

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