申请/专利权人：天津环鑫科技发展有限公司

申请日：2018-12-24

公开（公告）日：2020-01-10

公开（公告）号：CN209922073U

主分类号：B65D90/02(20190101)

分类号：B65D90/02(20190101);B65D88/54(20060101);B65D90/48(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.01.10#授权

摘要：一种液态源的储存装置，包括不锈钢源罐和放置于源罐内部的石英罐，源罐的顶部设有上盖，上盖上有进液管和出口管，石英罐的底部设有两个加厚部，加厚部之间为凹槽，补液管分别穿过源罐和石英罐设于凹槽内。本实用新型的优点是：在不锈钢源罐中内置石英罐，防止液态源对铁氟龙涂层的腐蚀，保证了液态源的清洁；石英罐表面平滑且附件少易清洗，补液管设于石英罐底部，可以减少补充液对石英罐内的液态源压力和温度的变化，保证液态源的储存环境。

主权项：1.一种液态源的储存装置，其特征在于：包括源罐和放置于所述源罐中的石英罐，所述石英罐底部的两端设有两个加厚部，所述加厚部之间的凹槽上设有补液管，所述源罐设有上盖，所述上盖上设有进液管和出口管，所述出口管的底端延伸至所述凹槽。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津环鑫科技发展有限公司 一种液态源的储存装置

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