买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明公布】氮化物晶体_赛奥科思有限公司;住友化学株式会社_201811400336.1 

申请/专利权人:赛奥科思有限公司;住友化学株式会社

申请日:2018-11-22

公开(公告)日:2020-02-11

公开(公告)号:CN110777431A

主分类号:C30B29/38(20060101)

分类号:C30B29/38(20060101);C30B25/04(20060101);C30B25/14(20060101);C30B25/16(20060101);C30B25/10(20060101)

优先权:["20180730 JP 2018-142907"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.05.18#实质审查的生效;2020.02.11#公开

摘要:本发明涉及一种氮化物晶体。本发明的课题在于,提高III族氮化物的晶体的品质,提高使用该晶体而制造的半导体设备的性能、成品率。本发明的解决手段是提供一种氮化物晶体,其是用InxAlyGa1‑x‑yN的组成式其中,0≤x≤1、0≤y≤1、0≤x+y≤1表示的晶体,其通过最大载荷在1mN以上且50mN以下的范围内的纳米压痕法测定的硬度大于22.0GPa。

主权项:1.一种氮化物晶体,其是用InxAlyGa1-x-yN的组成式表示的晶体,式中,0≤x≤1、0≤y≤1、0≤x+y≤1,所述氮化物晶体通过最大载荷在1mN以上且50mN以下的范围内的纳米压痕法测定的硬度大于22.0GPa。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 赛奥科思有限公司;住友化学株式会社 氮化物晶体

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。