申请/专利权人：三星电机株式会社

申请日：2019-06-12

公开（公告）日：2020-02-11

公开（公告）号：CN110784186A

主分类号：H03H3/02(20060101)

分类号：H03H3/02(20060101);H03H9/02(20060101);H03H9/17(20060101)

优先权：["20180724 KR 10-2018-0085889"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.06.29#实质审查的生效;2020.02.11#公开

摘要：本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，所述压电层的至少一部分设置在所述第一电极上；第二电极，设置在所述压电层上；以及钝化层，设置为覆盖所述第一电极和所述第二电极。所述第一电极和所述第二电极中任意一者或者两者包含铝合金层。所述压电层和所述钝化层中的任意一者或两者包含氮化铝或者添加有掺杂材料的氮化铝，并且所述压电层和所述钝化层中的任意一者或两者具有小于1.58的ca的比，其中，c为面外晶格常数，a为面内晶格常数。

主权项：1.一种体声波谐振器，包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，所述压电层的至少一部分设置在所述第一电极上；第二电极，设置在所述压电层上；以及钝化层，设置为覆盖所述第一电极和所述第二电极，其中，所述第一电极和所述第二电极中任意一者或者两者包含铝合金层，并且所述压电层和所述钝化层中的任意一者或两者包含氮化铝或者添加有掺杂材料的氮化铝，并且所述压电层和所述钝化层中的任意一者或两者具有小于1.58的ca的比，其中，c为面外晶格常数，a为面内晶格常数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星电机株式会社 体声波谐振器

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