申请/专利权人：浜松光子学株式会社

申请日：2018-07-23

公开（公告）日：2020-02-11

公开（公告）号：CN110785256A

主分类号：B23K26/03(20060101)

分类号：B23K26/03(20060101);B23K26/064(20060101)

优先权：["20170725 JP 2017-143627"]

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2022.09.23#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.03.06#实质审查的生效;2020.02.11#公开

摘要：激光加工装置具备：支撑部；激光光源；反射型空间光调制器；聚光光学系统；成像光学系统；镜；不经由聚光光学系统且与激光不同轴地对加工对象物照射第1测距用激光，并对其反射光进行受光，由此取得激光入射面的位移数据的第1传感器；及经由聚光光学系统且与激光同轴地对加工对象物照射第2测距用激光，并对其反射光进行受光，由此取得激光入射面的位移数据的第2传感器。从镜到达聚光光学系统的激光的光路设定成沿着第1方向。从反射型空间光调制器经由成像光学系统而到达镜的激光的光路设定成沿着与第1方向垂直的第2方向。第1传感器在与第1方向及第2方向垂直的第3方向上配置于聚光光学系统的一方侧。

主权项：1.一种激光加工装置，其特征在于，具备：支撑部，其支撑加工对象物；激光光源，其出射激光；反射型空间光调制器，其将所述激光调制并反射；聚光光学系统，其对所述加工对象物聚光所述激光；成像光学系统，其构成所述反射型空间光调制器的反射面与所述聚光光学系统的入射瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统；镜，其将通过了所述成像光学系统的所述激光朝向所述聚光光学系统反射；第1传感器，其不经由所述聚光光学系统且与所述激光不同轴地对所述加工对象物照射第1测距用激光，并对该第1测距用激光的反射光进行受光，由此取得所述加工对象物的激光入射面的位移数据；及第2传感器，其经由所述聚光光学系统且所述与激光同轴地对所述加工对象物照射第2测距用激光，并对该第2测距用激光的反射光进行受光，由此取得所述激光入射面的位移数据，从所述镜到达所述聚光光学系统的所述激光的光路设定成沿着第1方向，从所述反射型空间光调制器经由所述成像光学系统而到达所述镜的所述激光的光路设定成沿着与所述第1方向垂直的第2方向，所述第1传感器在与所述第1方向及所述第2方向垂直的第3方向上，配置于所述聚光光学系统的一方侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浜松光子学株式会社 激光加工装置

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