申请/专利权人:西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日:2019-10-22
公开(公告)日:2020-02-14
公开(公告)号:CN110796187A
主分类号:G06K9/62(20060101)
分类号:G06K9/62(20060101)
优先权:
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的驳回
法律状态:2023.10.27#发明专利申请公布后的驳回;2020.03.10#实质审查的生效;2020.02.14#公开
摘要:本发明提供了一种不良分类方法及装置,属于半导体技术领域。不良分类方法,包括:利用不良特征信息与生产执行系统MES信息组成原始数据集;利用所述原始数据集构造多个子数据集,每一子数据集包括多个数据样本;对每一子数据集生成一决策树,并得到每一决策树的分类结果;利用随机森林选择算法选择票数最多的分类结果,作为最终的分类结果。本发明能够实现晶圆制程中对不良样本的精确分类。
主权项:1.一种不良分类方法,其特征在于,包括:利用不良特征信息与生产执行系统MES信息组成原始数据集;利用所述原始数据集构造多个子数据集,每一子数据集包括多个数据样本;对每一子数据集生成一决策树,并得到每一决策树的分类结果;利用随机森林选择算法选择票数最多的分类结果,作为最终的分类结果。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 西安奕斯伟硅片技术有限公司 不良分类方法及装置
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