申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2019-09-18

公开（公告）日：2020-03-17

公开（公告）号：CN210156344U

主分类号：H01J37/02(20060101)

分类号：H01J37/02(20060101);H01J37/18(20060101);H01J37/317(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.03.17#授权

摘要：本公开涉及半导体储存器技术领域，提出了一种运动机构及具有其的离子注入机，运动机构包括操纵器、连杆以及防护件，连杆设置在反应腔的内部，操纵器位于反应腔的外部，操纵器与连杆驱动连接，以驱动连杆相对于反应腔活动；防护件用于设置在反应腔的内部，防护件具有防护腔，连杆穿设在防护腔内，且与防护件相连接，以带动防护件活动。本公开的运动机构通过操纵器驱动连杆在反应腔的内部活动，而防护件的设置可以避免反应腔内部的反应物附着于连杆上，其应用于真空与大气之间，可以使得反应腔更易维持高真空。

主权项：1.一种运动机构，其特征在于，包括：操纵器；连杆，所述连杆设置在反应腔的内部，所述操纵器位于所述反应腔的外部，所述操纵器与所述连杆驱动连接，以驱动所述连杆相对于所述反应腔活动；防护件，所述防护件用于设置在所述反应腔的内部，所述防护件具有防护腔，所述连杆穿设在所述防护腔内，且与所述防护件相连接，以带动所述防护件活动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 运动机构及具有其的离子注入机

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