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【发明公布】单体、光致抗蚀剂用树脂、光致抗蚀剂用树脂组合物以及图案形成方法_株式会社大赛璐_201910862591.6 

申请/专利权人:株式会社大赛璐

申请日:2019-09-12

公开(公告)日:2020-03-20

公开(公告)号:CN110895383A

主分类号:G03F7/039(20060101)

分类号:G03F7/039(20060101);C08F220/18(20060101);C08F220/28(20060101);C07D307/33(20060101);C07D307/935(20060101)

优先权:["20180913 JP 2018-171550"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.10.01#实质审查的生效;2020.03.20#公开

摘要:本发明的目的在于提供在形成耐溶胀性优异的光致抗蚀剂用树脂时有用的单体。本发明的光致抗蚀剂用树脂包含下述式Y所示的聚合单元,式Y中,RX表示卤原子或被卤原子取代的碳原子数为1~6的烷基,A1表示单键或连接基团,当A1表示连接基团时,A1和RX1任选相互键合而形成环,RX1表示氢原子、碳原子数为1~6的烷基、或碳原子数为2~6的烯基,n表示0~5的整数,当n为2以上时,RX1任选相同或不同,任选相互键合而形成环,m表示1~4的整数。

主权项:1.一种光致抗蚀剂用树脂,其包含下述式Y所示的聚合单元, 式Y中,RX表示卤原子或被卤原子取代的碳原子数为1~6的烷基,A1表示单键或连接基团,当A1表示连接基团时,A1和RX1任选相互键合而形成环,RX1表示氢原子、碳原子数为1~6的烷基、或碳原子数为2~6的烯基,n表示0~5的整数,当n为2以上时,RX1任选相同或不同,任选相互键合而形成环,m表示1~4的整数。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社大赛璐 单体、光致抗蚀剂用树脂、光致抗蚀剂用树脂组合物以及图案形成方法

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