【发明公布】刻蚀方法_北京北方华创微电子装备有限公司_201811080846.5 

申请/专利权人:北京北方华创微电子装备有限公司

申请日:2018-09-17

发明/设计人:王晓娟;郑波;马振国;吴鑫;王春

公开(公告)日:2020-03-24

代理机构:北京天昊联合知识产权代理有限公司

公开(公告)号:CN110911277A

代理人:彭瑞欣;张天舒

主分类号:H01L21/302(20060101)

地址:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

分类号:H01L21/302(20060101);H01L21/336(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.03.24#公开

摘要:本发明提供一种刻蚀方法,包括:向反应腔室内通入第一催化气体、第二催化气体和工艺气体,使第一催化气体和第二催化气体均参与反应,以对待加工工件进行刻蚀;以及去除在待加工工件上形成的固态产物。本发明提供的刻蚀方法能够在刻蚀后,降低刻蚀量的差异,以及碗型现象和沟槽型现象的产生,并且能够降低工艺时间,提高工艺效率和产能。

主权项:1.一种刻蚀方法,其特征在于,包括:向反应腔室内通入第一催化气体、第二催化气体和工艺气体,使所述第一催化气体和所述第二催化气体均参与反应,以对待加工工件进行刻蚀;以及去除在所述待加工工件上形成的固态产物。

全文数据:

权利要求:

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