申请/专利权人:北京北方华创微电子装备有限公司
申请日:2018-09-17
公开(公告)日:2020-03-24
公开(公告)号:CN110911277A
主分类号:H01L21/302(20060101)
分类号:H01L21/302(20060101);H01L21/336(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.11.25#授权;2020.04.17#实质审查的生效;2020.03.24#公开
摘要:本发明提供一种刻蚀方法,包括:向反应腔室内通入第一催化气体、第二催化气体和工艺气体,使第一催化气体和第二催化气体均参与反应,以对待加工工件进行刻蚀;以及去除在待加工工件上形成的固态产物。本发明提供的刻蚀方法能够在刻蚀后,降低刻蚀量的差异,以及碗型现象和沟槽型现象的产生,并且能够降低工艺时间,提高工艺效率和产能。
主权项:1.一种刻蚀方法,其特征在于,包括:向反应腔室内通入第一催化气体、第二催化气体和工艺气体,使所述第一催化气体和所述第二催化气体均参与反应,以对待加工工件进行刻蚀;以及去除在所述待加工工件上形成的固态产物。
全文数据:
权利要求:
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