申请/专利权人:香港应用科技研究院有限公司
申请日:2019-05-07
公开(公告)日:2020-03-24
公开(公告)号:CN110914680A
主分类号:G01N27/48(20060101)
分类号:G01N27/48(20060101)
优先权:["20190430 US 16/398,339"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.07.05#授权;2020.04.17#实质审查的生效;2020.03.24#公开
摘要:本发明提供了一种用于测量电沉积溶液中金属离子浓度的方法。本发明的方法可以实质上减少有机添加剂和不同电极条件对伏安法测量金属离子浓度的干扰。
主权项:1.一种测量电沉积溶液中金属离子浓度Cu的方法,包括以下步骤:提供支持电解质溶液,其中所述支持电解质溶液是酸性的,并且氯离子浓度小于0.05ppm;提供第一线性关系的斜率Sc,其表征校准混合物中不同浓度的金属离子的电沉积速率;提供多个测试混合物样本,其中通过使一支持体积Vo的支持电解质溶液与一相应添加体积的电沉积溶液接触来制备每个测试混合物样本,用于制备多个测试混合物样本的所述电沉积溶液的所述相应添加体积是不同的;使用伏安测量方法测量每个测试混合物样本的电沉积速率;根据测量的多个测试混合物样本的电沉积速率和所述电沉积溶液的所述相应添加体积,计算第二线性关系的斜率Ss,其表征在所述测试混合物中所述电沉积溶液的不同添加体积下的电沉积速率;和通过以下公式计算所述电沉积溶液中金属离子的浓度:
全文数据:
权利要求:
百度查询: 香港应用科技研究院有限公司 测量电沉积溶液中金属离子浓度的方法
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