申请/专利权人：株式会社荏原制作所

申请日：2018-07-06

公开（公告）日：2020-03-24

公开（公告）号：CN110914482A

主分类号：C25D17/10(20060101)

分类号：C25D17/10(20060101);H01L21/683(20060101)

优先权：["20170711 JP 2017-135370"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.02.22#授权;2020.04.17#实质审查的生效;2020.03.24#公开

摘要：为了部分地或局部地控制针对方形基板的镀敷膜厚。本发明提供一种用于调节阳极与方形基板之间的电流的调节板。该调节板具有：主体部，该主体部具有形成供电流通过的方形开口的缘部；和可装卸的遮蔽部件，该遮蔽部件用于遮蔽方形开口的至少一部分。

主权项：1.一种调节板，该调节板用于调整阳极与方形基板之间的电流，其特征在于，具有：主体部，该主体部具有形成方形开口的缘部，所述方形开口供电流通过；和可装卸的遮蔽部件，该可装卸的遮蔽部件用于遮蔽所述方形开口的至少一部分。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社荏原制作所 调节板、阳极保持器以及基板保持器

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD