申请/专利权人：罗门哈斯电子材料有限公司

申请日：2014-06-03

公开（公告）日：2020-03-24

公开（公告）号：CN104216224B

主分类号：G03F7/004(20060101)

分类号：G03F7/004(20060101);G03F7/20(20060101)

优先权：["20130531 US 13/907,789"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.03.24#授权;2016.06.29#实质审查的生效;2014.12.17#公开

摘要：本发明提供了新的光刻胶组合物，该组合物包含氨基甲酸酯化合物，所述氨基甲酸酯化合物包含1氨基甲酸酯基团和2酯基团。本发明优选的光刻胶可以包含：具有对酸不稳定的基团的树脂；酸生成剂化合物；以及氨基甲酸酯化合物，该化合物可以用来减少光致生成的酸扩散到光刻胶涂层的未曝光区域以外的不利现象。

主权项：1.一种光刻胶组合物，其包含：a树脂；b酸生成剂；和c氨基甲酸酯化合物，其包含i氨基甲酸酯基团和ii酯基团；其中，所述氨基甲酸酯化合物对应于以下通式I的结构： 式中：L1是包含至少一个碳原子的连接基团；L2是氢或非氢取代基；以及，其中：L2和R2可任选地结合起来形成环结构；L1和L2可任选地结合起来形成环结构；R1和L1或者R1和L2可任选地结合起来形成环结构；以及R1和R2都包含对酸不稳定的部分；其中，R1和R2是相同或不同的任选取代的C1-C30烷基、任选取代的脂环族碳环或任选取代的脂环族杂环。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 罗门哈斯电子材料有限公司 包含氨基甲酸酯组分的光刻胶

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