申请/专利权人：佳能特机株式会社

申请日：2019-09-20

公开（公告）日：2020-03-31

公开（公告）号：CN110938800A

主分类号：C23C14/24(20060101)

分类号：C23C14/24(20060101);C23C14/04(20060101);C23C14/56(20060101);C23C14/54(20060101);C23C14/50(20060101);C23C14/12(20060101);C23C14/14(20060101);H01L21/683(20060101);H01L51/56(20060101)

优先权：["20180921 KR 10-2018-0114448"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.06.27#授权;2021.10.15#实质审查的生效;2020.03.31#公开

摘要：本发明提供吸附装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法。吸附装置的特征在于，包括：被吸附体支承单元，用于支承被吸附体；静电吸盘，设置在被吸附体支承单元的一侧，用于吸附被吸附体；距离调整部件，用于调整被吸附体支承单元与静电吸盘的距离；以及控制部，用于控制对静电吸盘的电压施加以及距离调整部件对被吸附体支承单元与静电吸盘的距离的调整，控制部控制距离调整部件，以使静电吸盘与被吸附体支承单元之间的距离成为规定的间隔，并进行控制，以在被吸附体支承单元和静电吸盘被隔开规定的间隔的状态下，对静电吸盘施加用于在朝向静电吸盘的方向上吸引由被吸附体支承单元支承的被吸附体的电压。

主权项：1.一种吸附装置，其特征在于，该吸附装置包括：被吸附体支承单元，用于支承被吸附体；静电吸盘，设置在所述被吸附体支承单元的一侧，用于吸附所述被吸附体；距离调整部件，用于调整所述被吸附体支承单元与所述静电吸盘的距离；以及控制部，用于控制对所述静电吸盘的电压施加以及所述距离调整部件对所述被吸附体支承单元与所述静电吸盘的距离的调整，所述控制部控制所述距离调整部件，以使所述静电吸盘与所述被吸附体支承单元之间的距离成为规定的间隔，并进行控制，以在所述被吸附体支承单元和所述静电吸盘被隔开所述规定的间隔的状态下，对所述静电吸盘施加用于在朝向所述静电吸盘的方向上吸引由所述被吸附体支承单元支承的被吸附体的电压。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能特机株式会社 吸附装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法

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