申请/专利权人：宁波海秀丰科技有限公司

申请日：2019-12-17

公开（公告）日：2020-03-31

公开（公告）号：CN110938799A

主分类号：C23C14/20(20060101)

分类号：C23C14/20(20060101);C23C14/24(20060101);C23C14/26(20060101);C23C14/34(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.07.29#授权;2020.04.24#实质审查的生效;2020.03.31#公开

摘要：本发明公开了一种高纯高均匀性金靶材及其制备方法与应用，属于金属材料技术领域。本发明高纯高均匀性金靶材，以质量百分数计，Au不低于99.999％，Ag不高于5*10‑6％，Fe不高于3*10‑6％，Si不高于3*10‑6％，Cu、Pb、Pd、Mg、Na、K、U、Th和Ti的总含量不高于10‑6％；晶粒平均尺寸小于100nm，晶粒标准偏差小于20％。本发明通过精确测定粗金中元素Au和各杂质元素的含量，根据粗金中杂质元素的熔融气化温度从低到高设置温度梯度并根据杂质元素的含量设置各梯度温度的蒸发时间，对粗金进行逐级梯度温度蒸发，利用温度梯度剔除杂质元素，利用PI衬底收集各蒸发段的元素并层积成膜，实现粗金的高度纯化，同时使金的晶粒平均尺寸小于100nm，晶粒标准偏差小于20％，具有均匀性好的特点。

主权项：1.一种高纯高均匀性金靶材，其特征在于：以质量百分数计，Au不低于99.999％，Ag不高于5*10-6％，Fe不高于3*10-6％，Si不高于3*10-6％，Cu、Pb、Pd、Mg、Na、K、U、Th和Ti的总含量不高于10-6％；晶粒平均尺寸小于100nm，晶粒标准偏差小于20％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波海秀丰科技有限公司 一种高纯高均匀性金靶材及其制备方法与应用

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