申请/专利权人:常州鑫立离子技术有限公司
申请日:2019-08-20
公开(公告)日:2020-03-31
公开(公告)号:CN210220985U
主分类号:G01B11/06(20060101)
分类号:G01B11/06(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2020.03.31#授权
摘要:本实用新型涉及一种光学薄膜监控的光控光路系统,包括发光光源、光纤导光器、光路准直透镜、光电转换器、锁相放大器和数据信号分析系统;所述发光光源通过光纤导光器与光路准直透镜相连接;所述光路准直透镜对应产品基板设置,并将光照射到镀膜的产品基板上;所述光电转换器接收镀膜过程中产品基板上的不同强度的光信号,并转换为电信号;所述锁相放大器接收发光光源的同步信号,并与光电转换器转换的电信号进行比较后送入数据信号分析系统。本实用新型可以根据对应厚度对镀膜过程进行监控。
主权项:1.一种光学薄膜监控的光控光路系统,其特征在于:包括发光光源、光纤导光器、光路准直透镜、光电转换器、锁相放大器和数据信号分析系统;所述发光光源通过光纤导光器与光路准直透镜相连接;所述光路准直透镜对应产品基板设置,并将光照射到镀膜的产品基板上;所述光电转换器接收镀膜过程中产品基板上的不同强度的光信号,并转换为电信号;所述锁相放大器接收发光光源的同步信号,并与光电转换器转换的电信号进行比较后送入数据信号分析系统。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 常州鑫立离子技术有限公司 光学薄膜监控的光控光路系统
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