申请/专利权人：中国科学院微电子研究所

申请日：2020-01-19

公开（公告）日：2020-05-08

公开（公告）号：CN111123662A

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.04.26#授权;2020.06.02#实质审查的生效;2020.05.08#公开

摘要：本发明提供了一种获取套刻误差量测数据的方法及装置，包括：获取套刻误差的标记方式，根据标记方式确定套刻标记；基于套刻标记，确定线条上的量测区域，量测区域包括多组待量测区间，待量测区间的数量根据标记方式确定；针对每个量测区域，对多组待量测区间进行量测，获取对应的量测数据；基于预设的筛选标准，对量测数据进行筛选，获取符合筛选标准的量测数据；根据符合筛选标准的量测数据确定套刻误差的目标量测数据；如此，因待量测区域包括多个，即使在晶圆出现多个chuckspot或focusspot问题的情况下，本申请也可将不符合筛选标准的量测数据筛选掉，进而可以利用保留下的有效量测数据确定出最终的目标量测数据。

主权项：1.一种获取套刻误差量测数据的方法，其特征在于，所述方法包括：获取套刻误差的标记方式，根据所述标记方式确定套刻标记；所述标记方式包括：套叠线条BIB套刻标记方式以及先进成像计量AIM套刻标记方式；基于所述套刻标记，确定线条上的量测区域，所述量测区域包括多组待量测区间，所述待量测区间的数量根据所述标记方式确定；针对每个所述量测区域，对所述多组待量测区间进行量测，获取对应的量测数据；基于预设的筛选标准，对所述量测数据进行筛选，获取符合筛选标准的量测数据；根据所述符合筛选标准的量测数据确定套刻误差的目标量测数据；其中，当所述标记方式为所述BIB套刻标记方式时，所述线条包括套叠线条；当所述标记方式为所述AIM套刻标记方式时，所述线条包括光栅线条。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种获取套刻误差量测数据的方法及装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD