【发明公布】MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备_共达电声股份有限公司_202010267014.5 

申请/专利权人:共达电声股份有限公司

申请日:2020-04-08

发明/设计人:罗松成;王逸加;方维伦

公开(公告)日:2020-05-12

代理机构:广州华进联合专利商标代理有限公司

公开(公告)号:CN111147998A

代理人:史治法

主分类号:H04R19/02(20060101)

地址:261200 山东省潍坊市坊子区凤山路68号

分类号:H04R19/02(20060101);H04R31/00(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.05.12#公开

摘要:本发明涉及一种MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备。一种MEMS微型扬声器,所述MEMS微型扬声器包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜,所述支撑结构上开设有背腔以裸露部分所述压电振膜;其中,所述压电振膜包括与所述背腔相对的低频区,所述低频区包括高频区和低频子区域,且所述低频子区域刚性小于所述高频区刚性。上述MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备,在同一个发声单体中能够同时发出高频频段声波和低频频段声波,从而延伸带宽范围;同时相比于传统的整合多个发声单体的方式,还能增大压电振膜的有效区域面积,减小MEMS微型扬声器整体尺寸。

主权项:1.一种MEMS微型扬声器,其特征在于,所述MEMS微型扬声器包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜,所述支撑结构上开设有背腔以裸露部分所述压电振膜;其中,所述压电振膜包括与所述背腔相对的低频区,所述低频区包括高频区和低频子区域,且所述低频子区域刚性小于所述高频区刚性。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 共达电声股份有限公司 MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备

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