申请/专利权人：共达电声股份有限公司

申请日：2020-04-08

公开（公告）日：2020-05-12

公开（公告）号：CN111147998A

主分类号：H04R19/02(20060101)

分类号：H04R19/02(20060101);H04R31/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.31#授权;2020.06.05#实质审查的生效;2020.05.12#公开

摘要：本发明涉及一种MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备。一种MEMS微型扬声器，所述MEMS微型扬声器包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜，所述支撑结构上开设有背腔以裸露部分所述压电振膜；其中，所述压电振膜包括与所述背腔相对的低频区，所述低频区包括高频区和低频子区域，且所述低频子区域刚性小于所述高频区刚性。上述MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备，在同一个发声单体中能够同时发出高频频段声波和低频频段声波，从而延伸带宽范围；同时相比于传统的整合多个发声单体的方式，还能增大压电振膜的有效区域面积，减小MEMS微型扬声器整体尺寸。

主权项：1.一种MEMS微型扬声器，其特征在于，所述MEMS微型扬声器包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜，所述支撑结构上开设有背腔以裸露部分所述压电振膜；其中，所述压电振膜包括与所述背腔相对的低频区，所述低频区包括高频区和低频子区域，且所述低频子区域刚性小于所述高频区刚性。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 共达电声股份有限公司 MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备

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