申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2019-11-04

公开（公告）日：2020-05-15

公开（公告）号：CN111155053A

主分类号：C23C14/04(20060101)

分类号：C23C14/04(20060101);C23C14/12(20060101);C23C14/22(20060101);H01L51/56(20060101)

优先权：["20181108 KR 10-2018-0136310"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.26#授权;2021.10.29#实质审查的生效;2020.05.15#公开

摘要：提供了一种掩模组件和一种制造掩模组件的方法。所述掩模组件包括：掩模片，包括具有至少一个开口部分的图案部分和连接到图案部分的焊接部分；以及掩模框架，掩模片安装在掩模框架上，掩模框架焊接到焊接部分。掩模片包括被构造为面对掩模框架的第一表面和与第一表面相对的第二表面。焊接部分包括影线区域，第二表面在影线区域中的表面粗糙度大于第二表面在图案部分中的表面粗糙度。

主权项：1.一种掩模组件，所述掩模组件包括：掩模片，包括具有至少一个开口部分的图案部分和连接到所述图案部分的焊接部分；以及掩模框架，所述掩模片安装在所述掩模框架上，所述掩模框架焊接到所述掩模片的所述焊接部分，其中，所述掩模片包括面对所述掩模框架的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述焊接部分包括影线区域，并且所述第二表面在所述影线区域中的表面粗糙度大于所述第二表面在所述图案部分中的表面粗糙度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 掩模组件及制造掩模组件的方法

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