申请/专利权人：瑞声科技(南京)有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2020-05-15

公开（公告）号：CN111153378A

主分类号：B81B3/00(20060101)

分类号：B81B3/00(20060101);B81B7/00(20060101);B81B7/02(20060101);H04N5/232(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.07.07#授权;2020.06.09#实质审查的生效;2020.05.15#公开

摘要：本发明的一种MEMS驱动器及成像防抖装置，涉及MEMS执行器领域，包括依次层叠的驱动机构和联动机构；所述驱动机构包括第一锚定部、与所述第一锚定部间隔设置的第一支撑件以及连接在所述第一锚定部和所述第一支撑件之间的致动器，所述第一支撑件用于支撑被驱动装置；所述联动机构包括与所述第一锚定部对应且相对固定的第二锚定部、与所述第二锚定部间隔设置的第二支撑件以及连接在所述第二锚定部与所述第二支撑件之间的弹性电连接机构，所述第二支撑件与所述第一支撑件固定。本发明将驱动和电信号传递结构的设计独立开来，在有限的结构尺寸下，为执行器结构提供更多设计空间，有助于减小执行器的横向尺寸。

主权项：1.一种MEMS驱动器，其特征在于，包括层叠的驱动机构和联动机构；所述驱动机构包括第一锚定部、与所述第一锚定部间隔设置的第一支撑件以及连接在所述第一锚定部和所述第一支撑件之间的致动器，所述第一支撑件用于支撑被驱动装置；所述联动机构包括与所述第一锚定部对应且相对固定的第二锚定部、与所述第二锚定部间隔设置的第二支撑件以及连接在所述第二锚定部与所述第二支撑件之间的弹性电连接机构，所述第二支撑件与所述第一支撑件固定，所述第一支撑件带动所述第二支撑件相对所述第一锚定部运动；所述致动器经所述第一锚定部与外部电路电连接，所述被驱动装置与所述联动机构电连接且所述被驱动装置经所述第二锚定部与所述外部电路电连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑞声科技(南京)有限公司 一种MEMS驱动器及成像防抖装置

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