申请/专利权人：瑞声科技(南京)有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2020-05-15

公开（公告）号：CN111156981A

主分类号：G01C19/56(20120101)

分类号：G01C19/56(20120101);G01C19/42(20060101);G01C19/16(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2022.11.04#发明专利申请公布后的驳回;2020.06.09#实质审查的生效;2020.05.15#公开

摘要：本发明公开了MEMS陀螺仪，其包括：固定件；环形件，所述环形件为正8角星形，若干所述环形件依次间隔嵌套布设于所述固定件外侧；第一辐条，若干所述第一辐条等间距环形布设于所述固定件和与所述固定件相邻的所述环形件之间，以连接所述固定件和所述环形件；第二辐条，若干所述第二辐条等间距环形布设于相邻的所述环形件之间，以连接相邻的所述环形件；以及第一电极组件，所述第一电极组件环形布设于所述环形件外周。

主权项：1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，所述MEMS陀螺仪包括：固定件；环形件，所述环形件为正8角星形，若干所述环形件依次间隔嵌套布设于所述固定件外侧；第一辐条，若干所述第一辐条等间距环形布设于所述固定件和与所述固定件相邻的所述环形件之间，以连接所述固定件和所述环形件；第二辐条，若干所述第二辐条等间距环形布设于相邻的所述环形件之间，以连接相邻的所述环形件；以及第一电极组件，所述第一电极组件环形布设于所述环形件外周。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑞声科技(南京)有限公司 MEMS陀螺仪

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