申请/专利权人：苏州沃盾纳米科技有限公司

申请日：2019-09-06

公开（公告）日：2020-05-15

公开（公告）号：CN210529055U

主分类号：C23C16/458(20060101)

分类号：C23C16/458(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.05.15#授权

摘要：一种组合原料载具，其包括具有原料承载室的载具以及安装在所述载具上的蒸发促进装置，其中所述蒸发促进装置设有与所述原料承载室相连通且上下贯穿的若干镂孔以及将所述若干镂孔隔开的孔壁。本实用新型还涉及一种具有前述组合原料载具的气相沉积镀膜装置。相较于现有技术，本实用新型通过设置安装在载具上的蒸发促进装置，所述蒸发促进装置吸收载具受热后的热辐射，从而能够对每个镂孔中的原料进行更为均匀的加热，提高了蒸发速率，缩短了建压时间，提高了镀膜生产效率。

主权项：1.一种组合原料载具2，其特征在于，包括具有原料承载室30的载具3以及安装在所述载具3上的蒸发促进装置4，其中所述蒸发促进装置4设有与所述原料承载室30相连通且上下贯穿的若干镂孔41以及将所述若干镂孔41隔开的孔壁42。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州沃盾纳米科技有限公司 组合原料载具以及气相沉积镀膜装置

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