申请/专利权人：福建省福联集成电路有限公司

申请日：2019-10-16

公开（公告）日：2020-05-15

公开（公告）号：CN210535635U

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/673(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.05.15#授权

摘要：本实用新型公开一种自动倾斜晶圆载片装置，将晶圆置入装置中，将所述自动倾斜晶圆载片装置垂直置入清洗机中，进行清洗作业。作业时所述自动伸缩杆远离连接主轴的一侧超过所述载片装置的最底端，同时自动伸缩杆的长度长于其他垂直杆体。从而实现了自动倾斜以及复原的功能。进而提升晶圆清洗的均匀性、高效性，同时达到自动倾斜、高效、环保、节能的目的。

主权项：1.一种自动倾斜晶圆载片装置，其特征在于，所述载片装置包含自动伸缩杆、多个晶圆分层格和两侧的载片主轴；所述多个晶圆分层格平行设置且每个晶圆分层格都分别与两侧的载片主轴转动连接，所述晶圆分层格用于放置待清洗晶圆；所述自动伸缩杆与每个晶圆分层格活动连接，所述载片装置被吊起时所述自动伸缩杆远离载片主轴的一侧超过所述载片装置的底端，载片装置在放置时自动伸缩杆被顶起带动多个晶圆分层格绕载片主轴与晶圆分层格转动连接处上下偏转。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建省福联集成电路有限公司 一种自动倾斜晶圆载片装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD