申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2018-09-12

公开（公告）日：2020-05-19

公开（公告）号：CN111183397A

主分类号：G03F9/00(20060101)

分类号：G03F9/00(20060101);G05B11/36(20060101);G05B13/02(20060101);H01L21/027(20060101);H01L21/68(20060101)

优先权：["20171006 JP 2017-196419","20180710 JP 2018-131013"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.06.30#授权;2020.06.12#实质审查的生效;2020.05.19#公开

摘要：一种反馈控制设备，其将与受控对象的测量值与期望值之间的控制偏差相关的信息作为输入并输出用于受控对象的操纵变量。该反馈控制设备具有：第一控制单元，其接受关于控制偏差的信息作为输入，并输出用于该受控对象的操纵变量；第二控制单元，其包括学习控制单元，对于该学习控制单元，以关于控制偏差的信息接受为输入，由机器学习确定用于输出用于受控对象的操纵变量的参数；以及加法器，其用于将从第一控制单元输出的第一操纵变量和从第二控制单元输出的第二操纵变量相加；来自加法器的操纵变量被输出到受控对象，第二控制单元具有用于限制从第二控制单元输出的第二操纵变量的限制器。

主权项：1.一种反馈控制设备，所述反馈控制设备将关于受控对象的测量值与期望值之间的控制偏差的信息作为输入并输出用于该受控对象的操纵变量，其特征在于，包括：第一控制单元，所述第一控制单元将关于控制偏差的信息作为输入，并输出用于该受控对象的操纵变量；第二控制单元，所述第二控制单元将关于控制偏差的信息作为输入，并且包括学习控制单元，在该学习控制单元中通过机器学习来确定用于输出用于所述受控对象的操纵变量的参数；以及加法器，所述加法器将从所述第一控制单元输出的第一操纵变量和从所述第二控制单元输出的第二操纵变量相加，其中：来自所述加法器的操纵变量被输出到所述受控对象，以及所述第二控制单元包括限制器，该限制器限制从所述第二控制单元输出的第二操纵变量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 控制设备、光刻装置、测量装置、处理装置、平坦化装置以及物品制造方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD