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【发明公布】天车装置及物料搬送装置_长鑫存储技术有限公司_201811334362.9 

申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司

申请日:2018-11-09

公开(公告)日:2020-05-19

公开(公告)号:CN111170162A

主分类号:B66C15/06(20060101)

分类号:B66C15/06(20060101);B66C15/00(20060101);B66C13/16(20060101);B66C1/10(20060101);B66C13/08(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2020.06.12#实质审查的生效;2020.05.19#公开

摘要:本公开提供一种天车装置及物料搬送装置。该天车装置包括行驶组件、抓取组件、升降机构、第一检测装置以及控制装置。该行驶组件能够沿着悬空设置的轨道移动。该抓取组件用于抓取或松开晶圆盒。该升降机构连接于行驶组件与抓取组件之间,用于驱动抓取组件在竖直方向上移动。该第一检测装置在水平方向上位于抓取组件的一侧,并与抓取组件连接,用于检测第一检测装置正下方的预设范围内是否存在障碍物,且在第一检测装置正下方的预设范围内存在障碍物时,发出第一信号。该控制装置用于在接收到第一信号时,控制抓取组件保持松开状态。本公开能够避免由于晶圆盒的盖体未关闭所引发的安全事故。

主权项:1.一种天车装置,其特征在于,包括:行驶组件,所述行驶组件能够沿着悬空设置的轨道移动;抓取组件,所述抓取组件用于抓取或松开晶圆盒;升降机构,所述升降机构连接于所述行驶组件与所述抓取组件之间,用于驱动所述抓取组件在竖直方向上移动;第一检测装置,所述第一检测装置在水平方向上位于所述抓取组件的一侧,并与所述抓取组件连接,用于检测所述第一检测装置正下方的预设范围内是否存在障碍物,且在所述第一检测装置正下方的预设范围内存在障碍物时,发出第一信号;控制装置,所述控制装置用于在接收到所述第一信号时,控制所述抓取组件保持松开状态。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 长鑫存储技术有限公司 天车装置及物料搬送装置

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