申请/专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司

申请日：2018-11-13

公开（公告）日：2020-05-19

公开（公告）号：CN111174723A

主分类号：G01B11/24(20060101)

分类号：G01B11/24(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.11.12#授权;2020.06.12#实质审查的生效;2020.05.19#公开

摘要：本发明提供一种精密加工检测装置及检测方法，该精密加工检测装置包括激光器；样品台，样品台用于承载加工样品并能够带动加工样品运动；衍射光学元件，衍射光学元件位于激光器与加工样品之间的光路上并对激光器出射的激光进行衍射；合束镜，合束镜位于衍射光学元件与加工样品之间的光路上，能够透射自衍射光学元件出射的光束并反射自加工样品出射的光束；高量子效率相机，高量子效率相机接收自加工样品出射并被合束镜反射的光束以获得干涉图案；及三维轮廓合成模块，三维轮廓合成模块能够根据高量子效率相机获得的干涉图案合成加工样品的三维轮廓信息以检测精密加工效果。本发明具有检测成本低、检测及时且耗时短的优势。

主权项：1.一种精密加工检测装置，其特征在于：包括：激光器，所述激光器能够产生并出射激光；样品台，所述样品台用于承载加工样品并能够带动所述加工样品运动，以使所述激光器出射的激光能够在所述加工样品表面移动进行精密加工；衍射光学元件，所述衍射光学元件位于所述激光器与所述加工样品之间的光路上并对所述激光器出射的激光进行衍射；合束镜，所述合束镜位于所述衍射光学元件与所述加工样品之间的光路上，能够透射自所述衍射光学元件出射的光束并反射自所述加工样品出射的光束；高量子效率相机，所述高量子效率相机接收自所述加工样品出射并被所述合束镜反射的光束以获得干涉图案；及三维轮廓合成模块，所述三维轮廓合成模块能够根据所述高量子效率相机获得的干涉图案合成所述加工样品的三维轮廓信息以检测精密加工效果；其中，入射至所述加工样品表面的光束部分被吸收用于精密加工，剩余部分形成自所述加工样品出射的光束。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市圭华智能科技有限公司 精密加工检测装置及检测方法

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