申请/专利权人：TCL华星光电技术有限公司

申请日：2020-03-12

公开（公告）日：2020-05-22

公开（公告）号：CN111187008A

主分类号：C03C17/00(20060101)

分类号：C03C17/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.04.26#授权;2020.06.16#实质审查的生效;2020.05.22#公开

摘要：本发明公开一种玻璃基板涂布方法，包括装置提供步骤、玻璃基板设置步骤、扩展板并拢步骤、涂布步骤、以及扩展板移除步骤。本发明方法透过在涂布涂布层到玻璃基板上时将所述涂布层的厚度不均匀的起始部及结束部分别涂布到两扩展板上，最后透过移除扩展板的方式移除所述起始部及所述结束部并仅留下厚度均匀的均厚部，使得所述玻璃基板上所述涂布层能够具有均匀一致的厚度，进而提升了玻璃基板的光阻剂涂布效果。

主权项：1.一种玻璃基板涂布方法，其特征在于：所述玻璃基板涂布方法包括︰装置提供步骤，提供玻璃基板涂布装置，其中所述玻璃基板涂布装置包括载台、两扩展板、以及涂布头，其中两所述扩展板分别设置在所述载台两侧，各所述扩展板可移动、转动或是同时移动与转动以靠近或远离所述载台，所述涂布头设置在所述载台的起始侧上方且相距所述载台一距离，其中所述涂布头内盛载有涂布剂；玻璃基板设置步骤，设置玻璃基板到所述载台上，其中所述玻璃基板具有起始侧以及结束侧；扩展板并拢步骤，将两所述扩展板分别移动到邻接所述玻璃基板的所述起始侧以及所述结束侧；涂布步骤，驱动所述涂布头沿着所述玻璃基板的所述起始侧到所述结束侧的方向涂布所述涂布剂到两所述扩展部以及所述玻璃基板上以形成涂布层，其中所述涂布层具有分别位于两所述扩展部上的起始部以及结束部以及介于所述起始部以及所述结束部之间的均厚部；以及扩展板移除步骤，包括移除两所述扩展板并同时移除所述涂布层的所述起始部以及结束部而仅留下所述均厚部在所述玻璃基板上，以完成涂布。

全文数据：

权利要求：

百度查询： TCL华星光电技术有限公司 玻璃基板涂布方法及玻璃基板涂布装置

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