申请/专利权人：FEI公司

申请日：2019-11-12

公开（公告）日：2020-05-22

公开（公告）号：CN111189857A

主分类号：G01N23/04(20180101)

分类号：G01N23/04(20180101);G01N23/2251(20180101);H01J37/244(20060101);H01J37/26(20060101);H01J37/28(20060101)

优先权：["20181113 US 16/188,480"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.08.30#授权;2021.11.16#实质审查的生效;2020.05.22#公开

摘要：本文公开了用于带电粒子显微镜共焦成像的方法和系统。实例方法包括获得一部分样品的多个探针图像，所述多个探针图像中的每个探针图像在所述样品内的不同焦深处获得，将虚拟光圈应用于所述多个探针图像中的每个探针图像以形成相应的多个共焦图像，以及基于所述多个共焦图像形成所述样品的三维重建。

主权项：1.一种方法，包括：获得一部分样品的多个探针图像，所述多个探针图像中的每个探针图像在所述样品内的不同焦深处获得；将虚拟光圈应用于所述多个探针图像中的每个探针图像以形成相应的多个共焦图像；和基于所述多个共焦图像，形成所述样品的三维重建。

全文数据：

权利要求：

百度查询： FEI公司 带电粒子显微镜中的共焦成像技术

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