申请/专利权人：张洮;李赞

申请日：2020-03-02

公开（公告）日：2020-05-22

公开（公告）号：CN111189855A

主分类号：G01N22/00(20060101)

分类号：G01N22/00(20060101);G01R27/26(20060101);G01B15/04(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2024.01.05#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.09.18#实质审查的生效;2020.05.22#公开

摘要：本发明提供了一种基于阻抗测量的近场微波测量系统，包括微波网络分析系统，位置装置，近场微波阻抗传感器和数据处理系统。提供了确定近场微波阻抗传感器的复阻抗；用探头阻抗反馈控制探头距离被测物的绝对位置；从探头阻抗及位置参数获取被测物的物质性质参数或表面形貌的技术方案。解决了高分辨率的光学测试技术不能定量检测样品物质性质或表面形貌；传统的在微波频谱定量测试介电参数的技术很难在显微系统中使用；传统近场微波测量系统需要对入射微波信号进行调制解调，使用100KHz以下的低频锁相环，很难解耦物质性质参数与探头相对被测物位置对被测物反射微波信号的影响，不能可靠控制探头距离被测物的绝对位置，只能用于窄频段测量等技术问题。

主权项：1.一种基于阻抗测量的近场微波测量系统，其特征在于，包括：微波网络分析系统（1），位置装置（2），近场微波阻抗传感器（3）和数据处理系统（4）；微波网络分析系统（1），被配置为产生微波信号输入到近场微波阻抗传感器（3），确定复阻抗；位置装置（2），被配置为固定近场微波阻抗传感器（3）或被测物，在测量时，控制近场微波阻抗传感器（3）的探头相对于被测物的位置，确定位置参数；近场微波阻抗传感器（3），被配置为由近场微波阻抗传感器（3）的复阻抗和位置参数确定被测物目标区域物质性质参数或探头距离被测物目标区域的绝对位置；数据处理系统4），被配置为向微波网络分析系统（1）或位置装置（2）发出控制指令，并接受反馈；计算近场微波阻抗传感器（3）的复阻抗或探头的复阻抗；实现近场微波阻抗传感器（3）的检测方案。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 张洮;李赞 基于阻抗测量的近场微波测量系统

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