申请/专利权人：普兰西复合材料有限公司

申请日：2018-04-19

公开（公告）日：2020-05-22

公开（公告）号：CN111194359A

主分类号：C22C19/00(20060101)

分类号：C22C19/00(20060101);C23C14/32(20060101);C23C14/34(20060101);C22C1/04(20060101);C22C19/05(20060101);B22F3/105(20060101);C22C19/07(20060101);C22C19/03(20060101)

优先权：["20170421 CH 00534/17"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.31#授权;2020.06.16#实质审查的生效;2020.05.22#公开

摘要：本发明包括超级合金靶，其中该超级合金靶具有随机晶粒取向的多晶结构，该结构中的平均晶粒尺寸小于20μm，并且该结构中的孔隙率小于10％。此外，本发明包括通过粉末冶金生产制造超级合金靶的方法，其中所述粉末冶金生产从超级合金的合金粉末开始并且包括合金粉末的放电等离子体烧结SPS步骤。

主权项：1.超级合金靶，其中：-所述超级合金靶具有随机晶粒取向的多晶结构，-所述结构中的平均晶粒尺寸小于20μm，和-所述结构中的孔隙率小于10％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 普兰西复合材料有限公司 超级合金溅射靶

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