申请/专利权人：北京中科信电子装备有限公司

申请日：2018-11-15

公开（公告）日：2020-05-22

公开（公告）号：CN111192809A

主分类号：H01J37/317(20060101)

分类号：H01J37/317(20060101);H01J37/147(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.11.05#实质审查的生效;2020.05.22#公开

摘要：本发明涉及一种用于特种离子注入机的引束功能。本发明提供了一种自动引束的方法，该自动引束的方法具有调束成功率高的特点。该自动引束方法适用于特种离子注入机，程序稳定性高，与手动引束相比，提高了效率，减少了工作量。

主权项：1.一种特种离子注入机自动引束的方法，包括：自动引束按钮、主线程判断、开启引束线程、引束流程、引束是否成功、结束、停止引束按钮、结束线程。其特征在于：在界面上点击自动引束按钮后，主线程判断相关条件满足后会开启引束线程来实现引束功能，不会占用主程序资源，使程序可以不卡，顺利运行。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京中科信电子装备有限公司 一种特种离子注入机自动引束的方法

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